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1月16日,北方华创(002371.SZ)发布了2021年度业绩预告,公司预计期内的营收和归母净利润将延续近几年的增长趋势,双双再创新高。
受此消息的刺激,该公司的股价(以下均指前复权)在1月17日一度上涨8.55%,此后有所回落。但截至收盘,北方华创依然大涨6.54%,报收307.6元/股,出现了一丝止跌企稳的迹象。
2021年营收、净利双双创新高
北方华创的前身是北京七星华创电子股份有限公司(以下简称“七星电子”)和北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司(以下简称“北方微电子”),这两家公司都成立于2001年。2010年,七星电子上市。5年后,七星电子与北方微电子合并,并更名成了现在的名字。
经过这些年的发展,目前北方华创的产线覆盖了半导体设备、真空设备、锂电池设备和元器件等行业。
其中,半导体设备覆盖IC、光伏、LED、面板四大领域,包含刻蚀、PVD、CVD、氧化、退火、清洗、ALD、传送、固化等各类型设备,是国内最全的半导体设备产品线;真空设备主要包括焊接工艺设备、晶体生产设备、热处理设备、烧结设备和磁性材料设备;锂电池设备涵盖全套锂电池制造产线设备;元器件主要为特种器件,包含电阻、电容器件等。
1月16日的公告显示,2021年,北方华创预计将实现营收84.78亿元至109.01亿元,同比增加40%至80%;实现归母净利润9.4亿元至12.08亿元,同比增长75%至125%;实现扣非净利润6.9亿元至8.87亿元,同比增长250%至350%,业绩数据延续了近些年的增长趋势。
多家券商机构认为该公司期内的营收及归母净利润均超预期。
另外,结合上市以来的往年业绩来看,即使以北方华创2021年的业绩下限进行比较,其营收和归母净利润都已经创出了新高。
据公告,北方华创2021年的业绩之所以表现出色主要是主营业务下游客户需求旺盛,半导体装备及电子元器件业务实现持续增长。
定增募资加码主业,业绩或延续高增长
根据该公司所从事的业务不难发现,北方华创可是横跨了多个热门赛道,身上也贴满了热门概念,包括半导体、锂电池、光伏等。
上述这些热门赛道也都是近几年的高景气行业,作为这些行业内的专业设备供应商,北方华创的前景也被许多研究机构和投资者看好。
以北方华创最核心的半导体设备为例,据SEMI统计,2020年全球半导体设备市场规模达712亿美元,同比增长19%,并预计2021年全球晶圆厂设备支出将维持34%的增速达953亿美元,2022年预计增长12%突破1000亿美元。2021年晶圆厂设备支出预期中,晶圆代工设备支出为320亿美元,占比43%,同比增长23%;存储设备支出将小幅增长达280亿美元,占比38%。
受益于晶圆厂建设热潮,我国半导体设备市场规模近年来持续扩张。2020年,我国大陆地区半导体设备销售额达187.2亿美元,同比增长39%,占全球市场比重26.29%,首次成为全球最大半导体设备市场。
不过,与庞大的市场规模不相匹配的是,目前国内半导体市场仍以进口设备为主。
中国电子专用设备工业协会统计数据显示,2020年国产半导体设备销售额约为213亿元,占全球比重4.4%,国产化率约17.5%,其中刻蚀和PVD国产化率分别约23%和14%。
从龙头厂商的市场份额来看,2020年全球TOP10半导体设备销售额达708.08亿美元,占全球比重约76.6%,而TOP10半导体设备企业中美国3家,欧洲地区2家,日本5家。
据中国电子专用设备工业协会统计,2019年我国前10大半导体设备厂商销售额为143.43亿元,占全球市场份额仅约2.85%,前10大集成电路设备厂商销售额为63.15亿元。
由此可见,我国空有庞大的半导体设备市场,但是在产业链上,半导体设备仍然是薄弱环节,对外依存度较高。
而为了解决“卡脖子”的问题,国产替代已经成为了半导体领域的大趋势。
国金证券研究人员就认为,在半导体各细分板块中,国产化主线下设备行业景气度最为确定。
而北方华创的半导体设备产品线最为齐全,有望最大受益于国产替代。
值得一题的是,该上市公司也在顺应趋势,积极扩大产能。
2021年4月,北方华创公告非公开发行股票预案,拟募集不超过85亿元资金,用于半导体装备产业化基地扩产项目(四期)、高端半导体装备研发项目和高精密电子元器件产业化基地扩产项目(三期)等项目。
其中,半导体装备产业化基地扩产项目(四期)的规划产能包括年产集成电路设备500台、新兴半导体设备500台、LED设备300台、光伏设备700台。
高精密电子元器件产业化基地扩产项目(三期)的规划产能包括量产22万只高精密石英晶体振荡器和2000万只特种电阻。
核心业务前景光明,北方华创又在积极扩产,因此该公司未来的业绩有望能延续近两年的高速增长。
值得注意的是,根据投资者认购情况,此次定增发行股份2796.05万股,上市日为2021年11月4日,发行价格为304元/股。
最终获配份额的对象则有14名,基本都是市场上非常知名的大机构,堪称是“豪华阵容”,包括北京集成电路先进制造和高端装备股权投资基金中心(有限合伙)、嘉实基金管理有限公司、广发基金管理有限公司、国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司(俗称“大基金二期”)、国泰君安等。
彼时,北方华创的股价经过最近两三年的大涨后尚处于上市以来的高位,一度达到了452.78元/股,因此上述这14名机构其实是以一个“打折价”拿到了该公司的股份,这也引起了不少投资者的热议。
不过,没过多久,北方华创的股价就开始了回落,1月17日的收盘价现为307.6元/股,仅比发行价304元/股高一点。
因此,纵然北方华创业绩向好,但此前股价毕竟累计涨幅非常大,如果该股不能借这次业绩利好的消息止住跌势,上述这些参与定增的机构就有可能出现浮亏。
关于增加大连网金基金销售有限公司、
上海挖财基金销售有限公司为代销机构的公告
根据中邮创业基金管理股份有限公司(以下简称“本公司”)与大连网金基金销售有限公司、上海挖财基金销售有限公司签署的代销协议, 自2018年9月21日起,大连网金基金销售有限公司、上海挖财基金销售有限公司开始代理销售中邮核心优选混合型证券投资基金(590001)、中邮核心成长混合型证券投资基金(590002)、中邮核心优势灵活配置混合型证券投资基金(590003)、中邮核心主题混合型证券投资基金(590005)、中邮中小盘灵活配置混合型证券投资基金(590006)、中邮上证380指数增强型证券投资基金(590007)、中邮战略新兴产业混合型证券投资基金(590008)、中邮稳定收益债券型证券投资基金A/C(590009、590010)、中邮定期开放债券型证券投资基金A/C(000271、000272)、中邮核心竞争力灵活配置混合型证券投资基金(000545)、中邮双动力混合型证券投资基金(000571)、中邮货币市场基金A/B(000576、000580)、 中邮多策略灵活配置混合型证券投资基金(000706)、中邮核心科技创新灵活配置混合型证券投资基金(000966)、中邮信息产业灵活配置混合型证券投资基金(001227)、中邮趋势精选灵活配置混合型证券投资基金(001225)、中邮稳健添利灵活配置混合型证券投资基金(001226)、中邮创新优势灵活配置混合型证券投资基金(001275)、中邮新思路灵活配置混合型证券投资基金(001224)、中邮乐享收益灵活配置混合型证券投资基金(001430)、中邮风格轮动灵活配置混合型证券投资基金(001479)、中邮低碳经济灵活配置混合型证券投资基金(001983)、中邮纯债聚利债券型证券投资基金A/C(002274、002275)、中邮纯债恒利债券型证券投资基金A/C(002276、002277)、中邮稳健合赢债券型证券投资基金(002278)、中邮增力债券型证券投资基金(002397)、中邮睿信增强债券型证券投资基金(002474)、中邮睿利增强债券型证券投资基金(002475)、中邮未来新蓝筹灵活配置混合型证券投资基金(002620)、中邮景泰灵活配置混合型证券投资基金A/C(003842、003843)、中邮医药健康灵活配置混合型证券投资基金(003284)、中邮消费升级灵活配置混合型发起式证券投资基金(003513)、中邮军民融合灵活配置混合型证券投资基金(004139)、中邮健康文娱灵活配置混合型证券投资基金(004890)、中邮安泰双核混合型证券投资基金(005458)、中邮绝对收益策略定期开放混合型发起式证券投资基金(002224)。
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本公告解释权归中邮创业基金管理股份有限公司所有。
特此公告
中邮创业基金管理股份有限公司
2018年9月20日
关于中邮创业基金管理股份有限公司旗下部分基金
调整代销机构申购起点金额、开通基金定投业务
并参加基金申购及定投费率优惠活动的公告
为答谢广大客户长期以来给予的信任与支持,经与大连网金基金销售有限公司(以下简称“网金基金”)、上海挖财基金销售有限公司(以下简称“挖财基金”)协商一致,中邮创业基金管理股份有限公司(以下简称\"本公司\")决定自2018年9月21日起,旗下部分基金调整网金基金、挖财基金申购起点金额为10元,开通网金基金、挖财基金基金定投业务,并参加网金基金、挖财基金申购费率优惠及定投费率优惠的活动。现将有关事项公告
一、业务描述
1. 申购起点金额调整及费率优惠内容:
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费率优惠活动期间,投资者通过网金基金、挖财基金网上交易系统、柜台申购上述基金产品的,申购起点金额调整为10元,申购费率不设折扣限制,若折扣前的原申购费率为固定费用的,则按原费率执行,不再享有费率折扣。
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上述基金在网金基金、挖财基金开通基金定投业务,每笔最低定投金额为10元。
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3、费率优惠期限
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二、重要提示
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特此公告。
中邮货币市场基金收益支付公告
(2018年第09号)
公告送出日期:2018年9月20日
1. 公告基本信息
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注:本基金管理人定于2018年09月20日将投资者所拥有的自2018年08月20日至2018年09月19日的累计待结转收益进行集中支付,并按1元面值直接结转为基金份额,不进行现金支付。
2. 与收益支付相关的其他信息
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3. 其他需要提示的事项
一、提示
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二、咨询办法
1、中邮创业基金管理股份有限公司客户服务电话
400-880-1618、010-58511618
网址:www.postfund.com.cn
2、本基金销售机构:请详见本基金更新招募说明书
(报告出品方/
一、重组而来,聚焦电子工艺装备打造泛半导体平台
1.1 七星华创、北方微电子战略重组而成,“平台化”布局国内领先
公司由七星电子和北方微电子重组而来,不断发展为产品线最全面的电子工艺装备供应商
公司由七星电子和北方微电子战略重组而成,是国内集成电路高端工艺装备和精密电子元器件领先企业,于2018年和 2020年分别收购美国Akrion和北广科技射频技术资产,进行产品线的扩充;于2019年和2021年进行两次非公开发行, 用于扩产与研发。公司一路砥砺前行,不断提高自身技术水平,发展为产品线最全面的电子工艺装备和精密电子元器 件供应商。
1.2 国资控股背景,有望享受更多产业和政策支持
公司为国资控股背景,有望享受更多产业和政策支持
公司实际控制人是拥有国资背景的北京电控,截至2021年三季度末,直接持有公司9.50%的股份,通过七星华电间接 持有公司33.90%的股份,合计持有公司43.4%的股份。国家集成电路产业基金是公司的第三大股东,持有公司7.48%的 股份。公司旗下全资子公司北方华创微电子、北方华创真空技术、七星华创精密电子分别是公司半导体装备、真空及 新能源锂电装备、电子元器件的经营主体。
1.3 四大板块业务竞争优势突出,客户均为各领域龙头企业
1.3.1 公司目前业务可分为四大板块,分别对应三个核心子公司
乘着产业蓬勃发展的东风,公司持续深耕高端电子工艺装备和精密电子元器件两大基础电子产品领域。公司目前主营业务可划分 为泛半导体装备、真空装备、新能源锂电装备及精密元器件四大块,主要由三个子公司主体分别执行。其中:
1)泛半导体装备的实施主体是北方华创微电子,2021H1营收25.0亿元,净利润0.7亿元;尽管整体利润率偏低,但泛半导体领域 装备业务在公司整体收入占比已经提升至70%左右;
2)真空、新能源锂电装备:主体为北方华创真空,2021H1营收3.3亿元,净利润0.4亿元,净利率10.7%,整体保持稳定;
3)精密电子元器件实施主体是七星华创,2021H1营收7.7亿,净利润2.8亿元,保持36.1%的超高净利率。
1.3.2 公司客户均为泛半导体行业各细分方向龙头
公司产品综合覆盖了集成电路、先进封装、化合物半导体、面板、LED、MEMS、太阳能光伏等半导体相关领域,下 游客户几乎覆盖了泛半导体行业各细分方向的龙头公司,包括逻辑代工领域的中芯国际和华虹集团、存储器领域的长 江存储和长鑫存储、先进封装领域的长电科技和华天科技、新能源光伏领域的隆基股份、面板领域的京东方等。
1.4 业绩增长进入加速阶段,持续高研发投入不断提升核心竞争力
1.4.1 公司2016-2021年营业收入、归母净利润维持高速增长,期间CAGR分别为42.95%、63.26%
2016年公司完成战略重组后,营业收入、归母净利润实现稳步增长。其中营业收入由2016年的16.22亿元提升至2021年 的96.84亿元,年均复合增长率为42.95%;归母净利润由2016年的0.93亿元增长至2021年的10.77亿元,年均复合增长率 为63.26%。在全球半导体市场火爆的背景下,公司收入规模保持强劲增长。公司整体利润增速有更好的表现,高于收 入增长,主要系:1)公司产品不断成熟、走向高端,毛利率总体提升; 2)公司营收快速增长,规模效应凸显,盈利 能力进一步提升;3)政府给予公司补助支持。
1.4.2 分业务来看,泛半导体装备收入占比接近70%,而精密电子元器件贡献主要净利润
收入端,泛半导体装备类收入占比持续提升。2016年以来,公司整体装备收入占比持续提升。在整体装备业务收入中,泛半导体 设备收入占比也持续提升。从子公司北方华创微电子口径来看(主要是泛半导体装备,包括IC、LED、FPD、先进封装等), 2020年收入达41.55亿元,净利润1.76亿元,泛半导体装备业务在公司整体收入占比已经提升至68.6%,2021H1达到69.1%。
利润端,精密电子元器件业务贡献主要净利润。从子公司口径来看,2020年精密电子元器件净利润占比为61.3%,主要系公司电 子元器件产品较为成熟,不断推出高端产品,净利率不断提升。泛半导体装备净利润占比27.9%,净利率处于较低水平,随着公 司半导体设备产品不断成熟,未来盈利能力有望提升,贡献更多利润。
1.4.3 毛利率波动上升,高研发投入短期产生利润侵蚀
毛利率较海外龙头公司仍有差距,但已在逐步追赶。虽然公司当前毛利率低于海外同行,但随着公司半导体设备收入占比与产品成熟度提升, 差距不断缩小,2017-2019年,公司毛利率由36.59%提升至40.53%,2020年公司毛利率下降主要系收入结构变化、新产品收入占比提升,随着 产品成熟度提高、规模效应体现,公司毛利率继续上行,2021年前三季度公司毛利率为40.94%。
技术追赶阶段研发投入力度大,部分影响净利率表现。2016-2019年,公司研发支出分别为7.58、7.36、8.73、11.37亿元,占营业收入比例分 别为46.7%、33.1%、26.3%、28.0%。2020年全年,公司研发投入16.08亿元,同比增长41.39%,占营业收入比例26.56%。其中资本化的研发投 入10.51亿元,占比65.38%,研发费用率11.07%,同比下降1.86pct。公司高研发投入与其当前所处技术追赶相关,预期未来一段时间内,仍会 保持较高的研发投入。尽管如此,受益于公司毛利率提升以及规模效应下其余费用率的下降,公司净利率仍呈现出较好增长态势。
公司深度参与国家02专项,是刻蚀、薄膜沉积等多个核心设备国产化任务承担者。02专项为国家重大专项第二位,指 《极大规模集成电路制造装备及成套工艺》项目,具体包括晶圆制造、设备、材料等技术攻关。公司参与多项02专项 设备研制,一方面反映出公司超群的技术水准,另一方面也为公司设备研发提供资金、政策等多维度支持。
1.5 定增85亿元加码半导体装备、电子元器件发展
2021年定增85亿元用于半导体装备、电子元器件扩产与研发项目
公司2021年完成定向增发85亿元,其中59亿元投向半导体装备领域,包括半导体装备产业化基金扩产项目(四期)和 高端半导体装备研发项目。
半导体装备产业化基金扩产项目(四期):在北京经开区马驹桥智造基地建设N7基地,扩充半导体设备产能,形成年 产集成电路设备500台、新兴半导体设备500台、LED设备300台、光伏设备700台的生产能力。
高端半导体装备研发项目:在现有N1基地改造研发实验室,购置研发用设备及软件,开展下一代高端半导体装备研发, 包括先进逻辑、先进存储、先进封装以及光伏、新型显示、第三代半导体等领域的工艺装备。
二、国内“平台型”半导体设备龙头,各细分领域竞争力突出
公司在集成电路领域覆盖多个主要环节设备,各细分领域竞争力突出
集成电路领域,公司产品覆盖薄膜沉积、等离子刻蚀、氧化扩散、清洗四大工艺装备和流量计、射频电源两大关键零 部件,部分产品达14nm工艺节点,进入国际供应链体系。
2.1 薄膜沉积:国产PVD设备绝对龙头,市场份额迅速提升
2.1.1 技术:薄膜沉积设备是晶圆制造三大主设备之一,PVD与CVD是两大主流路线
薄膜沉积是指在硅片衬底上沉积一层待处理的薄膜材料,可以是导体、绝缘体或者半导体材料,不同的材料可以由多种工艺形成。薄膜沉积 技术主要有物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)、电镀、旋转涂覆和蒸发等,较为常见的主要是PVD与CVD。
PVD:指在真空度较高的环境下,使源材料(金属)以原子、分子或离子的形式逸出沉积物粒子,并在晶圆上沉积形成薄膜。最常见的两种 方式有热蒸发沉积和等离子体溅射沉积,溅射法相对应用更多,可以镀导体层与绝缘层,具有较好的沉积方向性,但台阶覆盖率一般。
CVD:指把一种或几种含有构成薄膜元素的化合物、单质气体通入放置有晶圆的反应室,使其发生反应在晶圆表面上沉积固态薄膜的技术工 艺。根据反应类型和压力的不同可以分为低压型(LPCVD)、常压型(APCVD)、次常压型(SACVD)、等离子体增强型(PECVD)和金 属有机化合物型(MOCVD)和原子层沉积(ALD)等。比较常见的方法是PECVD法和ALD法。
2.1.2 全球:PECVD、ALD、PVD价值占比较高,均由国际巨头垄断
全球半导体薄膜沉积设备市场规模稳步提升,PECVD、ALD、PVD设备价值占比较高。作为三大晶圆制造设备之一, 薄膜沉积设备投资金额占晶圆制造设备投资总额的20%以上。2020年全球薄膜沉积设备市场规模约为172亿美元,预计 2025年达到340亿美元,规模翻倍,年复合增长率为13.3%。随着产线逐步升级,在实现相同芯片制造产能情况下, 对 薄膜沉积设备的需求则会进一步提升。
不同技术路线来看,PECVD是目前的主流设备,占比最高,约31%;溅射PVD(Sputtering)是另一大主流技术路线, 占比为23%;ALD设备市场规模快速增长,近年来受到广泛关注,占比为12%。
全球不同技术路线的薄膜沉积设备都呈现高度垄断的竞争格局,基本由国际巨头垄断。其中PVD领域应用材料一家独 大,CVD、ALD领域寡头垄断。
PVD:应用材料一枝独秀,市场份额从2018年的74%持续提升至2020年87%,处于绝对龙头地位;
CVD:应用材料、泛林半导体、东京电子三家合计占有全球70%市场份额,整体保持稳定;
ALD:2019年先晶半导体、东京电子合计全球60%市场份额,并在2020年进一步提升至75%。
2.1.3 国内:北方华创、拓荆科技有所突破,国产化率迅速提升
薄膜沉积设备国产化基础弱,但已进入快速起量阶段。参考长江存储、华虹无锡近三年采招标数据,国内市场薄膜沉 积设备仍以外资为主,北方华创、拓荆科技有所突破,两者份额相当。
2019-2021年长江存储薄膜沉积设备国产化率分别为2.1%、3.3%、9.5%,逐年提升,其中北方华创份额分别为0.4%、 1.4%、4.2%,进步明显。2019-2020年华虹无锡薄膜沉积设备国产化率从7.1%上升至17.9%,北方华创份额从2.4%上升 到7.1%。具体设备类型来看,北方华创销售设备主要为PVD设备,拓荆科技销售设备主要为CVD设备。
2.1.4 公司:国产PVD领先者,28nm Hardmask和Al Pad PVD成为Baseline机台
北方华创当前已实现PVD、CVD、ALD多类薄膜沉积设备覆盖,其中PVD设备工艺覆盖度最高,客户反馈最优。
PVD:28nm PVD设备成为Baseline机台,并进入国际供应链体系,14nm PVD进入主流代工厂;
CVD:28nm和14nm LPCVD设备已进入国际供应链体系;
ALD:14nm ALD设备进入主流代工厂。
2.2 刻蚀:ICP设备优势明显,国内市场部分客户份额近10%
2.2.1 技术:干法刻蚀已成为主流技术路线,其中CCP与ICP在复杂芯片生产中需搭配使用
刻蚀是使用化学或者物理方法有选择地从硅片表面去除不需要材料的过程,主要分为湿法刻蚀和干法刻蚀,湿法基本被干法替代, 市场占比分别为10%和90%。
湿法刻蚀:通过化学试剂去除硅片表面材料,一般用于工艺尺寸较大的应用,或用于干法后残留物的去除。
干法刻蚀:通过等离子气与硅片发生物理、化学或者物理+化学反应三种方式将表面材料去除,主要用于亚微米尺寸下刻蚀,由 于具有良好的各向异性和工艺可控性,目前是主流的刻蚀技术。1)物理方法用离子轰击溅射去除表面材料,具有很强的方向性, 但由于选择比较低,常用于表面清洗;2)化学方法利用等离子体中的物质与基板反应,生成可挥发性的气体,和湿法刻蚀一样 是各向同性,常用于去胶;3)物理+化学方法结合了两者优点,各项性能优异,广泛应用于各大刻蚀工艺。
报告节选:
(本文仅供参考,不代表我们的任何投资建议。如需使用相关信息,请参阅报告原文。)
精选报告【未来智库】。未来智库 - 官方网站
1.公司基本情况
公司为国内最大的泛半导体设备“超市”
北方华创是由七星电子和北方微电子战略合并而成。其前身为 2001 年 9 月成立的北京七星华创电子股份有限公司。公司深耕于芯片制造刻蚀领域、薄膜沉积领域近 20 年,现已成为国内领先的半导体高端工艺装备及一站式解决方案的供应商
北方华创横跨 IC、LED、LCD、光伏四大泛半导体赛道,设备种类齐全,下游覆盖范围广,下游客户遍布半导体 IC、LED、LCD、光伏四大领域,例如 IC 制造龙头中芯国际和长江存储、LED 龙头三安光电和华灿光电、面板龙头京东方以及光伏龙头隆基股份等,客户结构堪称无与伦比,在行业中极为稀缺。
目前,公司已经在全球范围内建立服务中心逾30个,形成了贴近客户的服务网络,在技术支持、现场服务、备品备件供应、维护培训等方面与客户形成了良好的合作关系。
公司四大业务板块:
2.主营业务-半导体设备方面
2.1薄膜设备PVD和CVD
PVD 和 CVD 是主要的薄膜设备,ALD 是产业技术发展趋势。在半导体领域,薄膜主要分给绝缘薄膜、金属薄膜。大部分绝缘薄膜使用 CVD,金属薄膜常用 PVD(主要是溅射)
CVD:用于沉积介质绝缘层、半导体材料、金属薄膜
北方华创PVD工艺国内领先。公司自主研发13款PVD产品,其中自主设计的exiTin H630 TiN金属硬掩膜PVD是国内首台专门针对55~28nm制程的12寸金属硬掩膜设备,实现国产28nm后端金属硬掩膜的突破
北方华创CVD设备同时覆盖功率、光伏等,实现多领域布局。目前LPCVD设备部分产品在国内SMIC先进工艺生产线实现突破,PECVD设备主要用于光伏电池片等生产,大幅节约电能成本
薄膜设备的市场格局
据Maximize Market Research数据,2017~2020年全球薄膜沉积设备市场规模CAGR为11.2%,2020年达172亿美元,其中PECVD、ALD及溅射PVD为最主要设备,合计占比达63%。
2.2 刻蚀设备
干法刻蚀为主流的刻蚀技术。等离子干法刻蚀技术是利用等离子体进行薄膜微细加工的技术。
北方华创在刻蚀机领域保持国内领先,主要专注于硅刻蚀和金属刻蚀,公司刻蚀机关键设备达到28nm制程,硅刻蚀机、金属刻蚀机处于14nm工艺验证阶段。2017年公司8英寸铝金属刻蚀机进入代工厂产线,打破了8英寸刻蚀机被国际厂商长期垄断的局面,同时公司推出12英寸TiN硬掩膜刻蚀机,可应用在28-14nm逻辑制程中。公司刻蚀机通过国内多家龙头厂商的验证,得到大规模应用,2020年ICP刻蚀机累计交付超过1000腔,进入中芯绍兴、华虹等公司产线。
公司2021年刻蚀设备订单持续向好,进入华虹、中芯和积塔等主流厂商供应体系。根据国内主要晶圆厂商招标数据,截止2021年10月份北方华创共获得16个刻蚀设备订单,客户包括华虹宏力、华虹无锡、中芯(绍兴)等,公司刻蚀设备订单销售情况良好。
刻蚀设备的竞争格局
据Gartner 21Q2数据,19-22年全球刻蚀设备市场预计从109亿美元提升至197亿美元,CAGR为15.95%,
2.3 氧化、扩散设备
这一类设备是将硅片放置于氧气或水汽等氧化剂的氛围中进行高温热处理,在硅片表面发生化学反应形成氧化膜的过程
北方华创立式氧化炉具备独特优势 市场开拓顺利,2021年氧化扩散设备订单同比大幅提升。THEORIS 立式炉产品目前拥有氧化、退火、化学气相沉积、原子层沉积四种工艺系列,具备高精度温度控制能力、严格的金属污染控制能力以及稳定的传输控制能力。2020 年,THEORIS 立式炉产品第 100 台出厂交付。截止2021年10月份,氧化扩散已中标37台,接近去年全年中标数量,主要客户包括武汉新芯、浙江创芯、长江存储、华虹无锡等。
3.收入分析
收入保持高速增长,存货、订单继续增加。公司作为国产替代半导体设备龙头,订单、收入、合同负债持续增长,国内晶圆投建需求放量,国产化持续提升,公司有望快速放量。上游设备零部件材料紧张,公司Q3末存货76亿元,反映更积极备货、加速生产;
截至2021Q3,合同负债达55亿元,在手订单充足,下游需求旺盛。相比去年增加约82%
4.研发实力
2021 前三季度公司产生研发费用 8.69 亿元,同比增长 191.19%,研发费用占营收比达 14.07%,同比增长6.29pct,体现了公司研发构筑护城河的发展决心。
截至2020年底,累计申请专利5,141件,累计获得授权专利2,894件。
5.定增、投资情况
公司定增85亿元用于半导体装备前沿技术的开发以及半导体装备和电子元器件产业化能力的快速提升。2021年4月公司发布非公开发行股票预案,8月24日获得证监会核准批复。
公司本次定增募资计划投入“半导体装备产业化基地扩产项目(四期)”、“高端半导体装备研发项目”和“高精密电子元器件产业化基地扩产项目(三期)”的建设。未来半导体设备和电子元器件扩产项目达产后产品放量,两大业务营收和利润有望提升。同时公司加码高端半导体装备的研发也有助于强化在该领域的竞争优势。
半导体装备产业化基地扩产项目(四期),项目设计产能为年产集成电路设备500台、新兴半导体设备500台、LED设备300台、光伏设备700台的生产能力
6.要点分析
1.设备覆盖范围广,堪称国内半导体设备小超市,但先进制程对比仍然国外落后;
2.下游晶圆厂扩产加速,受益于本土国产替代,在手订单增加
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