1、光刻机(Mask Aligner)又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻,所以叫 Mask Alignment System.
2、因为芯片远比这小得多,动不动就是nm的,这些最小也就是μm级别,那么到底是什么刻刀能做到这么精细。所以就想到了,用光线在芯片上刻,就是光刻机。
3、Photolithography(光刻)意思是用光来制作一个图形(工艺);在硅片表面匀胶,然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时“复制”到硅片上的过程。形象的来说光刻机就是个“投影仪”,把我们想要的图案投影到芯片上。
近年来,芯片的热度不减,尤其是随着5G的大规模发展和新能源汽车的发展。对芯片的需求可以说达到了前所未有的程度。全世界都在“缺芯片”。作为全球最大的芯片进口国,台湾省受到的影响越来越大。虽然部分芯片的采购仍受制于海外公司,但好消息是,未来这种情况可能会有很大改变。因为量子芯片即将问世。如果量子芯片能够研发成功,将彻底改变目前的局面。量子芯片是组装在主面板上的量子电路,具有量子信息处理的功能。论量子力学的叠加和纠缠特性,量子计算机在计算能力上已经远远超越了传统计算机。它被称为信息时代的“核武器”,关系到一个国家未来的核心竞争力。量子芯片是这项颠覆性技术的核心。理论上,量子芯片是一种可以绕过传统硅片制造的光刻机。量子芯片在衬底上集成量子电路,通过量子碰撞技术处理和传输信息,完全不需要光刻机。虽然量子技术已经取得了一些成果,但是距离投入商业应用还有很长的路要走。一旦量子芯片成功商业化,量子芯片将超越光刻技术,芯片制造领域将进入一个新的里程碑。那么光刻对我们来说就没那么重要了,告别了过去卡在芯片制造的尴尬局面。值得一提的是,目前我国量子芯片的生产仍以实验室加工为主。要实现量子芯片的大规模生产,必须要有成熟的制造技术和成熟的生产加工模式。事实上,合肥本元量子和合肥晶和集成电路有限公司两家公司的最终目的都是为了尽快上马量子计算芯片生产线,这也是国内量子计算产业发展的最大障碍。关于建立原晶量子芯片联合实验室,美国院士詹姆斯直言,美国未来不会用芯片制造中国的问题,芯片之争终将结束。相信未来中国的量子芯片也会在国际上大放异彩。
一般情况是不需要的。
光刻机普遍使用在技术水平较高,应用场景较复杂的芯片制造过程之中。常常需要涉及到运算和转码,所以芯片制造之中会需要光刻机来完成集成电路的核心制作。激光红外绕开光刻机,是新技术的表现。
一台光刻机可以制造很少的芯片。相信大多数人都清楚,光刻机的用途是刻字。光刻机是生产手机芯片的重要机器之一。目前,只有少数国家可以生产光刻机,只有荷兰ASML公司可以生产高精度光刻机,而且荷兰ASML公司垄断了全球高精度光刻机80%以上的市场份额。目前,一台光刻机的成本高达上亿美元,而一台光刻机一年的产能最多只有几台,光刻机是目前世界上最尖端的设备技术之一,而一台7纳米的光刻机价格非常昂贵,价格高达1.2亿美元,甚至1.2亿美元的光刻机,也是供不应求。
据悉,华为的麒麟990流片的成本号称高达3000万美元,相当昂贵。不过,经过验证和流片等一系列过程,一旦芯片能够投入试产和量产,整体就会稳定下来。光刻机巨头,目前是ASML,负责全球大部分光刻机的订单。但即便如此,资料显示,ALSM在十年间只生产了57台光刻机。不难看出光刻机对技术的要求有多高。值得注意的是,57台光刻机中的30台被台积电以每台约10亿元人民币的价格售出。换言之,台积电仅在光刻机上就花费了300亿美元。在荷兰的垄断下,10亿台光刻机,当年能生产多少芯片?
据相关数据显示,目前ALSM提供的摄影机的理想产能为每小时200片12英寸晶圆,其中大部分处于理想产能的50%。以华为的9905G芯片为例,其总面积为113.31平方毫米,那么一块12英寸晶圆可以提供约600块原材料,除去一些不好的和质量差的,约500块。因此,如果你看一下,那就是每天50万个芯片,一台平版印刷机一年可以生产大约1.8亿个。因此,价值10亿美元的光刻机是值得的。
光刻机是是制造芯片的核心装备。
光刻机也可以称为掩模对准曝光机、曝光系统或光刻系统等。它采用类似照片冲印的技术,把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。光刻机的种类可分为:接触式曝光、接近式曝光、投影式曝光。光刻机的工作原理是通过一系列的光源能量、形状控制手段,将光束透射过画着线路图的掩模,经物镜补偿各种光学误差,将线路图成比例缩小后映射到硅片上。然后使用化学方法显影,得到刻在硅片上的电路图。目前,世界上只有少数厂家拥有生产光刻机的技术。
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