光刻机涉及到的知识有:光学、机械加工、电子电路、化学等多个学科知识。
光刻机的主要性能指标有:支持基片的尺寸范围,分辨率、对准精度、曝光方式、光源波长、光强均匀性、生产效率等。分辨率是对光刻工艺加工可以达到的最细线条精度的一种描述方式。光刻的分辨率受受光源衍射的限制,所以与光源、光刻系统、光刻胶和工艺等各方面的限制。
对准精度是在多层曝光时层间图案的定位精度。曝光方式分为接触接近式、投影式和直写式。
扩展资料:
光刻机的分类
光刻机一般根据操作的简便性分为三种,手动、半自动、全自动。
1、手动:指的是对准的调节方式,是通过手调旋钮改变它的X轴,Y轴和thita角度来完成对准,对准精度可想而知不高了;
2、半自动:指的是对准可以通过电动轴根据CCD的进行定位调谐;
3、自动: 指的是 从基板的上载下载,曝光时长和循环都是通过程序控制,自动光刻机主要是满足工厂对于处理量的需要。
光刻机涉及的知识有光学,机械加工,电路等,属于电子技术类专业的范畴。
光刻机涉及到的知识有光学、机械加工、电子电路、化学等多个学科知识。可学电子技术类专业,比如微电子与固体电子专业。 扩展资料 光刻机又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等,是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术,把掩膜版上的`精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。
研究光刻机应该学光电,或者(应用)物理(传统光学方向)都可以。
光刻机的研发本来就是集光学,电子,机械,软件,算法,物理,微电子等多学科为一体的,大部分理工科都可以在这个学科中找到对应的职位。
先进光刻机荷兰ASML一家独大,在中国的研发也比较少(上海和深圳有,但偏重软件方向),大部分都是装机修机现场服务技术支持。你要做研发,先考上至少985的本科,再读硕士,这是最起码的。
如果你要去美国或荷兰的ASML工资,如果是非计算机专业,最好去欧美读到博士。如果你只是硕士,最好读计算机方向。因为在光刻机的研发中,对软件的学历门槛是最低的(牛逼的学CS的都去互联网了,来你硬件公司干啥)。
相关资料
我是集成电路专业的,大家都知道光刻机用于芯片制造,可是大学里面集成电路专业一般来说有两个方向,一个是电路方向,一个是器件方向。
这两个方向都会学集成电路工艺基础课,但是都是宏观介绍一下,涉及到光刻部分也就给你看看图片。电路方向的话是不会见到真光刻机的,器件方向会着重教你如何去使用光刻机制作微电子器件,但是也不会教你去设计光刻机。
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