掩模对准器的制造商是ASML。自1984年以来,ASML的光刻解决方案一直是半导体行业的创新*,并在如此小的规模内实现了巨大的飞跃。结合硬件和软件,它提供了在硅上大规模生产图案的整体方法。在全球16个国家和地区,有60家ASML公司的主要产品是光刻机,这是生产大规模集成电路的核心设备。在国际同类产品中占有90%的市场份额,14nm工艺以下市场份额***。扩展信息:ASML为半导体制造商提供掩模对准器和相关服务。TWINSCAN系列是世界上最精确、最多产、应用最广泛的高端光刻模型。世界上大多数半导体制造商从ASML购买TWINSCAN型号,如英特尔、三星、海力士、TSMC、SMIC等。
上海微电子公司是中国最厉㝘的光刻机公司。在我国的光刻机制造领域,它打破了零的记录,成为了*一家制造光刻机公司。上海微电子公司成立于2002年,如今上海微电子公司拥有1000多名*人才,在国内占据了80%以上的市场份额。在我们国家的半导体产业发展当中,上海微电子公司起到了极其重要的作用。
首先,ASML在光刻机领域是无可争议的世界霸主。
光刻机是芯片生产中必不可少的设备
ASML是一家荷兰公司,又叫阿斯麦,是一家专门生产光刻机的企业。所谓的光刻机,是生产芯片的最为关键的设备之一。具体光刻机是用来干什么的,可以参考我之前写的一篇答案: 《生产芯片用的蚀刻机和光刻机有什么区别?》 地址是:
神一样的ASML的光刻机
这家公司可以说是世界上最*的光刻机生产商,而且即便是世界第二也已经被远远甩在了后面, 现在其*进的EUV(极紫外光)光刻机已经能够制造7nm以下制程的芯片了,单台光刻机的售价已经超过了一亿美元,而且还不是现货。 相比之下,中国完全自主生产的光刻机只有可怜的90nm制程,差了一大截。
那么为什么荷兰这么小的一个国家可以拥有这么*的企业呢?
原因一:ASML出身名门。
ASML并不是一家白手起家的公司,而是从*电子制造商飞利浦独立出来的一个公司,背后肯定有相关的人员、经济上的资助。
原因二:不拘一格降人才。
与我们想象中不同,ASML的光刻机中超过90%的零件都是向外采购的,这与他原来的对手,尼康和佳能是完全不同的。正是因为这样的政策,使得他们能够在整个设备的不同部位同时获得世界上*进的技术,而他们自身也可以腾出手来在部件整合和客户需求上做文章,从而在日新月异的芯片制造行业取得竞争优势。
而这种高新技术行业马太效应特别明显,一旦有一点差距,很快就会迅速拉大。
原因三:对核心技术的掌握。
*进的EUV光刻技术,ASML拥有世界第二的专利申请量,说明即便是广泛地外包零件,他们依然对核心技术有着不懈的追求。
蔡司也是ASML的合作伙伴,负责光学模组的生产
原因四:独特的合作模式。
ASML有一个非常奇特的规定, 那就是只有投资ASML,才能够获得优先供货权 ,意思就是要求他自己的客户要先投资自己才行。这样奇特的合作模式使得ASML获得了大量的资金,包括英特尔、三星、台积电、海力士都在ASML中有相当可观的股份, 可以说大半个半导体行业都是ASML一家的合作伙伴,形成了庞大的利益共同体 ——就算是技术研发出现了失误,英特尔挤挤牙膏就好了,并不会威胁到ASML的市场占有率。
而且不仅仅是来自合作伙伴的资金支持,更多的还有技术支持。比如说刚刚提到了ASML在EUV光刻技术上拥有世界第二的专利申请量,而世界第一是德国的蔡司公司,第三是韩国的海力士公司,而这两家公司都是ASML的合作伙伴。
中国相关企业可以学习什么?
我觉得可以从以下几个角度来借鉴ASML成功的经验:
1)充分利用国内的资金和政策支持。 比如说阿里已经投身AI芯片研发、华为海思则在芯片领域已经耕耘许久——而中兴事件也给了他们一个教训,不可对外国的支持太过于依赖,而这种不安全感、对技术的追求和海量的研发资金和人才储备,都是可以充分利用的资源;
2)分散进攻,不搞大包大揽。 一些零件可以外包,甚至于可以暂时使用国外的零件、日后再寻求替代,总之就是不把复杂的光刻机的全部压力放在一家企业上,而是利用整个国家、甚至于全世界的资源。
3)不忘初心,始终坚持自主研发和进口替代。 一定要坚持掌握核心技术,有些东西虽然暂时可以有国外产品应用,但是人无远虑必有近忧,不能放弃对自主研发和核心技术的不懈追求。
最后,还是希望中国在芯片行业可以获得发展,日后不必再受到国外的制约。
Asml垄断了全球的高端光刻机市场,他是从飞利浦公司分拆出来的,保留了曾经大部分飞利浦的人员,本身技术实力雄厚,而且对于合作企业aaml要求对方入股,所以也保证了和合作伙伴是利益共同体。
2017年全球光刻机总出货294台,其中ASML共就出货198台,占全球68%的市场份额,2017年asml卖出的单台EUV机价格超过1亿欧元
1、飞利浦的研发实力
ASML最开始是飞利浦光刻设备研发小组。1971年开始研发,在1973年就研发了新型光刻设备,最后因为亏损太厉害,成本太高,分拆出来了,但所有的团队都保留了下来。
2、巨大的研发费用
Asml每年将营业收入15%用于研发,2017年研发费用高达97亿人民币,所以越投入技术越强,而竞争对手尼康和佳能都跟不上发展了,
3、专注于技术
Aaml处于荷兰,几乎没有上下游产业,所以90号以上的零件向外采购,这样就可以把精力全部用于研发了。而且核心的研发技术根本不外传。
4,打造上下游利益共同体
Asml要求所有合作伙伴必须投资它,否则就不合作,所以其他厂商比如因特尔,三星,台积电都有asml股份,也可以分工,这样asml发展越好,其他厂商也有分成,这样就绑在了一条船上。
5、积极收购技术公司
ASML为了拓展技术实力,收购了很多企业,比如在2007年以2.7亿美元收购了美国计算光刻领跑者Brion,2012年以26亿美元收购了准分子激光源提供商Cymer,2016年以1000亿收购了HMI。
你认为我国芯片产业能发展起来呢?
作为生产芯片的最为关键的设备之一,光刻机被业界誉为集成电路产业皇冠上的明珠,其设备的性能直接影响到整个微电子产业的发展,因此研发的技术和资金门槛非常高,像日常使用的手机CPU制造工艺都离不开光刻机。
1、荷兰占据光刻机市场的龙头老大
荷兰的ASML(阿斯麦),是全球有名的光刻机制造商,目前在高端市场上一家独大,它的客户主要是IBM、TSMC和Intel等芯片巨头,已经占世界市场份额的90%,而光刻机市场第二、第三的尼康和佳能被远远甩在后面,只能做中低端市场。
ASML*进的EUV(极紫外光)光刻机已经能够制造7nm以下制程的芯片了,单台机器售价已经超过了一亿美元。 相比之下,中国完全自主生产的光刻机只有90nm的制程 ,差了一大截,进步空间很大。
2、荷兰光刻机申请专利达世界之最
事实上,ASML并不是一家自我成长起来的公司,而是从*电子制造商飞利浦独立出来的一个公司。要知道,飞利浦可是世界上*的电子品牌之一,在欧洲名列榜首,ASML的成长肯定离不开飞利浦的技术和资金的支持。
3、荷兰要求建立特殊的合作关系
合作共赢也是ASML获得成功的关键因素,ASML的大股东是英特尔、三星和台积电(TSMC),这意味着它们不仅是股东、还是客户。 ASML有一个与众不同的合作原则:必须入股,才能获得*供货权 ,这就为ASML的持续发展扩大提供大量的资金,而且还可以巩固市场的占有率。
除了提供资金支持外,合作伙伴还为ASML提供更多的技术支援。比如说刚刚提到了ASML在EUV光刻技术上拥有世界第二的专利申请量, 而世界第一是德国的蔡司公司,第三是韩国的海力士公司,这两家公司都是ASML的合作伙伴。
4、整合全球供应链提高产品竞争力
此外,ASML的光刻机中超过90%的零件都是面向全球采购,由于整合了全世界*质的零部件,ASML具备了制造出最*光刻机的基础条件,能够专注于如何提高设备的制造水平,同时也可以及时对准客户需求,久而久之形成了行业竞争力, 而不像什么都自己研发和生产的尼康和佳能。
不过,别人再厉害也与我国没关系,ASML高端的光刻机对中国是禁售的,中国只能买到ASML的中低产品,这造成了目前中国半导体工艺难以提升上去。与近期中兴事件带给我们的警示同样,中国任何时候都要高度重视自主创新,毕竟我们只能靠自己。
我们都知道,生产芯片离不开光刻机,目前世界上掌握最*光刻机技术的是荷兰的ASML。其*进的EUV(极紫外光)光刻机已经能够制造7nm以下制程的芯片,单台光刻机的售价超过一亿美元,想要拿到现货还必经经过美国商务部门的批准,中国完全自主生产的光刻机只有90nm制程,两者差距不是一般的大。
那么问题来了,就算我国制造不出*进最*的光刻机,那么老牌的资本主义国家,比如美、英、日、韩、德等等,难道他们也不能生产吗?为什么独独只有荷兰能够制造*的光刻机呢?
全世界只有荷兰能够制造*的光刻机,当然是有原因的。
1、ASML公司对上游整合全球供应链。 ASML并不是一家白手起家的公司,而是从*电子制造商飞利浦独立出来的一个公司。 ASML的光刻机元器件中,光学组件是德国的,激光组件来自美国,芯片和软件来自英法,光刻胶以及化工原料来自日本,荷兰ASML干的事情其实就是总体设计和组装。 可以说,ASML是集全球*资源和技术为一体。
2、荷兰ASML公司对下游提出创新的合作模式。 ASML规定,只有投资ASML,才能够获得优先供货权,要求客户先投资自己才能拿货。 通俗的讲,这个就相当于股份制一样,把ASML的利益与客户的利益紧紧捆绑,一荣俱荣,一损俱损。这种合作模式让ASML得到了英特尔、三星、台积电、海力士等众多客户的大量资金支持。
3、ASML公司对研发费用投入的不断提升。 新 科技 需要不断的资金投入支持, ASML每年将营业收入15%用于研发,2017年在光刻机投入研发费用高达约97亿人民币。 尼康和佳能虽然曾经在光刻机上实力强劲,但是后继高额研发费用却让这两家公司不得不选择放弃高端研发。 AMSL每年投入的研发费用,达到了整个欧洲的第二位,大笔的经费投入,意味着更多的人才聚集,所以AMSL就可以研发出精度更高的光刻技术,来取代原有的技术,然后进一步的收割市场。
4、ASML公司大量申请专利保护。 EUV光刻技术上,拥有世界第一专利申请量的是德国的蔡司公司,世界第二是阿斯麦,第三是韩国的海力士公司,而这两家公司都是ASML的合作伙伴,申请大量的专利保护形成很深的行业壁垒,后面的公司再想涉足光刻机高端研发就难上加难。
5、ASML不断扩张收购新技术公司。 AMSL专注收购一些新技术,例如在2007年的时候,AMSL就收购了一家美国的公司,来帮助自己完善技术。自己不断加大投入研发新技术,还不断收购新技术公司,让资本的力量更强大,ASML这一招真是高明。
目前,我国也会造光刻机,但制造的精度远远不如AMSL,可以这样说,在光刻机这个领域,AMSL目前没有对手。 国内相关企业应该充分利用国内资金和政策支持,不可过分依赖外国技术与资源,一些零件可以外包,甚至于可以暂时使用国外的零件,日后再寻求替代,不把复杂的光刻机的全部压力放在一家企业上,而是利用整个国家、甚至于全世界的资源。
不忘初心,始终坚持自主研发和进口替代,坚持掌握核心技术,不放弃对自主研发和核心技术的不懈追求,我们的民族企业依然有很大希望,期待在不久的将来,我们也能造出属于自己的高端光刻机。
神乎其神。 拥有 科技 人员6000一公司,90%的关键设备均自外来,有德国的光学技术设备和超精密机械,以及其它核心配件,有美国的计量设备和光源设备,ASML要做的精密控制。钱自外来,主要的三家,英特尔、三星和台积电,利益共享。不能说没有荷兰什么事,它做的工作也自不少,包括《瓦森纳协定》,必须严格遵照执行,2015年可以向中国出口65纳米以下的光刻机了,阿弥托佛。德国米铱也成为中国上微的合作伙伴,有钱谁不赚。今年初ASML也开启了向中国出口7纳米之路,为啥?留待下一个问题再说。7纳米极紫外线光刻机,分为13个系统,3万个分件,作动时每一分都要*,换言之,可以把误差分散到13个分系统中,德国的蔡司光学设备做得不准,美国Cymer光源不精,ASML顿时便会失去精神,所以ASML的责任仅仅在于,用好这些家伙什,使之更加精确,远没一些人吵吵得那么神乎。
上邪! 如今光刻机国际市场,也算上微一个,它属于中国,说些高*光刻机的事,目前已经做得够好,但差距应在十年以上,要在分系统的一些关键设备仍依赖进口,比如德国的蔡司镜片,一块就要数万美元,只是以其镜片打底而已,打底的当然还要去打磨,2018属于中国的9纳米光刻机正式下线,成为实现超精密机械与测控技术领域*系统控制的国家之一,成本也只有艾司摩尔几分之一,所以现在要面向中国出口了呢,这正像当年索尼和松下不得不向中国插标卖首一样,你没技术就受到永远限制,上微的老总讲,图纸并非大关键,关键是每一分都要*,这个却难。2015年“十二五” 科技 成就展,中国的光刻机加工精度只有90纳米,却得以与大飞机、登月车并列,生产出的芯片也就是奔4的水准,而艾司摩尔这一技术当时却是十几个纳米。但是我们并不害怕,三年以后取得的进步可以说是神一样,眼下要全面突破的正是7纳米光刻机技术。读一读汉代这首乐府诗,大长我中华精神,我们是不信邪的,祖训如此。
长命无绝衰。 持之不懈的坚持,正为密诀,其实再复杂的技术来自积累,如我们对镜片的加工,蔡司具有上百年之功,我们不过刚刚开始。国家投入重金搞研发,钱是一回事,创新才是灵魂,关键的还是人,急需的是能工巧匠,如蔡司的传承,一家几代都是打磨镜片的,有多少不传之密,正是核心的核心,难得的是扑下身去代代相传,俯首于电光火石之间,去探究那小小的硅片极其细微的沟壑纹理,世界最精密最微小的装备上,浸泡着中国的未来,它的难度,上微人好有一比,两架移动的飞机上,一飞机向另一架飞机的米粒上刻字,精度是一根头发丝的千分之一,难不难呢?上微1100多员工为证,大国工匠一倚其中,他们现在的年龄,平均34岁,正是干大事,出成果的好时候,此时不拼,更待何时。江水为竭,冬雷震震,何时天地相合,而得与君绝,好诗好气魄,二千年前的古人如斯,今者风流,那也是不惧的。
荷兰ASML公司在光刻机市场,特别是高端光刻机市场长期占据着垄断地位。那么全世界为什么只有荷兰才能够制造*的光刻机?
为什么连美国、德国、日本这些 科技 专精的国家都没有一家企业能够与荷兰ASML公司匹敌?有书君认为有以下原因:
1、研发费用
已经有高起点的ASML每年将营业收入15%用于研发,而2017年在光刻机投入研发费用高达约97亿人民币。
如今只能仰望ASML的尼康和佳能虽然曾经在光刻机上实力强劲,但是高研发费用也让这两家公司犯愁而不得不选择放弃光刻机高端研发。
而ASML在研发费用上另辟蹊径,仗着自己无可取代的90%市场份额占有率,降低光刻机的产能来吸引各方投资。
使得光刻机的研发过程不会出现资金断链的情况,而投资方也能得到优先购买权。
因为研发费用ASML从来不需太过考虑,所以ASML总是在研发路上走得比别人快。
在我国光刻机只能制造出90nm以制程的芯片时,ASML已经制造出7nm以下制程和低于5nm精度工艺的NXT2000i。
2、专注光刻机领悟
1984年荷兰飞利浦面临经营困境而裁员,ASML在那年从飞利浦独立出来。
因为飞利浦什么领域都想涉猎,导致最后解体。
于是ASML吸取教训,34年来专注研发光刻机技术,而没有涉足芯片或其它领域。
多年的沉淀下来的关键技术,造就了ASML在光刻机一方霸主的地位。
ASML*进的EUV高达1亿美元,但是却是大家抢破头也难买到的珍品,ASML单就*产品就可以直接垄断了高端光刻机的市场。
这是ASML长期专注所带来的成果。
3、资源共享的 科技 发展圈
欧洲 科技 发展模式为资源共享型,在认为荷兰ASML公司已经有足够先进的技术后,就不会再花费太多精力在研发光刻机上。
欧洲其它国家不仅不跟荷兰抢占光刻机市场,还为ASML提供光刻机重要的元器件。
德国提供了光学组件,美国提供了激光组件,英法提供芯片和软件,连日本也提供了光刻胶以及化工原料。
在这样的氛围下,ASML只需要专注于光刻机技术的研发,并回报给欧洲其它国家想要的先进光刻机,就能够实现各方互利共赢的局面。
4、收购公司,互补技术缺陷。
ASML在2007年以2.7亿美元收购了美国计算光刻领跑者Brion,Brion致力于检测光刻缺陷及提出相应修正解决方案。
2012年ASML又以26亿美元收购了*的准分子激光源提供商Cymer,使得新型光刻机极紫外(EUV)研发进度加快。
2016年ASML以1000亿收购了世界*的专营电子束检测技术的HMI,因为HMI可以互补ASML的曝光技术。
这样一个集多方力量支持又在研发路上渐行渐远的ASML是很难超越的。
有书君认为,这样的ASML如果一直保持这个态势,而其它国家不争不抢,那么ASML继续垄断高端光刻机,甚至抢占***市场份额也不是不可能。
如今,中国正在研发28nm制程的光刻机,希望在2019年进口了ASML的EUV光刻机后,中国研发团队能够研发出更精进的光刻机,打破ASML独占高端光刻机的局面。
光刻机是一种利用光学技术对半导体材料进行加工的机器,它可以认为是计算机技术发展的强大助推器,在人们发现晶体管计算机比电子管计算机的效率提高成千上百倍后,有人又提出,构成晶体管的半导体材料要先行造成晶体管的形态再把晶体管连通起来,其电子学性能还是不高,如果在一大块半导体材料中用外力方法切去一部分,令其在原有材料的基础上形成成千上万个晶体管,其电子学性能就有翻天复地的变化。
究竟何种外力能够加工半导体材料?经过科学实验,人们知道光学技术能够达到这一点,世界上*的,最有实力的电子照明技术就是荷兰的菲利蒲公司,后来根椐世界产业分工的原因,该公司分列出一个子公司,这个公司利用了菲利蒲公司 历史 上沉淀的光学研究技术,利用了德国提供的精密机械技术,利用了美国提供的光源,利用了世界各地的元件配件,制成了半导体材料的光学加工机器,这种机器由于是由专门人材设计,能工巧匠操作加工而成,所产出的机器性能稳定,品质保证,比同行业厂商的水平高出很多,所以可以认为是世界*的光刻机。
笔者在这里要强调的是,上一段内容所讲的四个"利用"一词,并不是一种商业的利用涵义,而是一种深度的合作,德国与美国提供的合作内容是世界上*的*科学,工艺,技术组成的,与两国的根本利益息息相关,所以题目中所称的*光刻机是指它是世界上*的光刻机。
众所周知,光刻机是芯片生产过程所需的核心设备,这种高精度光机电一体化设备,研发过程是没有什么捷径可走的,精度只能一步步提升。现在市面上*进的光刻机的确只有荷兰能造,已经能够制造7nm以下制程的芯片,质量*且每年产量相当有限,预约都已经排在几十年后,可以说达到了有钱也买不到的珍稀程度。
ASML是全球最*的光刻机生产商,也是世界*一家的高端光刻机制造商,几乎垄断了这个行业。这家专门生产光刻机的荷兰企业,是从*电子制造商飞利浦独立出来的一个公司,出身名门,且背后集中了无数资源和丰富的研发经验,拥有近乎完美的德国机械工艺以及世界*光学厂商德国蔡司镜头,再加上美国提供的光源使得ASML公司的光刻机发展迅速。
ASML的光刻机中超过90%的零件都是向外采购的,能够在整个设备的不同部位同时获得世界上*进的技术,ASML还不断整合客户需求,为获取竞争优势掌握了核心技术,在EUV光刻技术上拥有世界第二的专利申请量。 ASML还拥有独特的合作经营模式,就是投资 ASML才能够获得优先供货权, 比如英特尔、三星、台积电、海力士都在ASML中有相当可观的股份,大家资源共享风险平摊, 形成了 半导体行业 庞大的利益共同体。
由于西方国家之间技术可以共享,即使不共享也可以购买,但对于中国来说,ASML高端的光刻机对中国是禁售的,中国只能买到ASML的中低产品,这造成了目前中国半导体工艺难以提升上去。自主创新比任何时候都重要,我们只能靠自己。
荷兰的ASML,中文翻译是阿斯麦,这个公司是全球*的光刻机设备和服务提供商。垄断了市场80%的份额,在极紫外光(EUV)领域,目前处于垄断地位。曾经一台高端设备卖到了1亿欧元,据说今年更是卖到了5亿欧元。
制造7nm以下制程的芯片,目前荷兰制作的*进的EUV(极紫外光)光刻机能够做到。这就是因为阿斯麦的技术先进,能够制作光刻机的公司,除了阿斯麦还有尼康和佳能,但是尼康和佳能生产的设备要落后阿斯麦很多,根本不能相提并论。在芯片制作领域,落后对手一点,都很可能会失败,何况尼康和佳能的设备落后于阿斯麦1代甚至2代。所以阿斯麦因为技术先进占据了全球所有的高端光刻机市场。
德国的卡尔蔡司和阿斯麦的合作,光刻机需要*的光学镜头。德国的蔡司集团入股了阿斯麦24.9%的股份,并且和阿斯麦长期合作。
阿斯麦进入了垄断地位之后,故意降低产量,然后让下游厂商投资,谁的投资越多,谁就可以优先拿到货源,这也是阿斯麦获得了更加充足的资金。更加使得很多垄断型的大厂成为了自己的合作伙伴。比如我们熟知的英特尔、台积电、三星、海力士都在其中。这也就形成了庞大的利益共同体。
EUV光刻技术上拥有世界第一专利申请量的是德国蔡司,世界第二是阿斯麦,第三是韩国的海力士公司,而这两家公司都是阿斯麦的合作伙伴。
所以高端光刻机号称是世界上最精密的仪器,显示的是国家制造业的*水平,世界上*的光刻机只有在荷兰和日本有卖,以荷兰ASML、日本Nikon和日本Canon三大品牌为主。 其中荷兰ASML占据了全球高端光刻机的90%,荷兰的光刻机已经能够制造7nm以下制程的芯片,但是它们的光刻机要出售给哪个国家需要获得美国商务部的同意。 中国科学家正在不断超越,现在上海微电子已经能生产中端光刻机,目前可以制造90nm以下制程的芯片,虽然还有很大差距,但是已经有了很大的飞跃。
荷兰的ASML并不是一家横空出世的高端企业,它出身名门,是从*电子制造商飞利浦独立出来的一个公司,它掌握着*进的EUV光刻技术,同时拥有是集成创新的能力,荷兰的ASML公司90%的零件都是向外采购的,英特尔、三星、台积电、海力士等芯片制造企业都在ASML占有股份。
1、大族激光(002008):2020年6月17日公司在互动平台称:公司在研光刻机项目分辨率3- 5μm,主要聚焦在分立器件、LED等领域的应用,今年有望实现小批量销售。 2、张江高科(600895):公司在互动平台表示,上海张江浩成创业投资有限公司2016年投资了 上海微电子装备有限公司22,345万元,投资比例为10.779%。 3、晶方科技(603005):公司在互动平台表示,荷兰光刻机制造商ASML为公司参与并购的荷兰 Anteryon公司的最主要客户之一。Anteryon为全球同时拥有混合镜头、晶圆级微型光学器件工艺 技术设计、特性材料及量产能力的技术创新公司,其产品可广泛应用于半导体精密设备、工业自 动化、汽车、安防、3D传感器为代表的消费类电子等应用领域。 4、赛微电子(300456):公司在互动易平台披露:公司一直为全球光刻机巨头厂商提供透镜系 统MEMS部件的工艺开发与晶圆制造服务。ASML为公司商业合作伙伴。公司瑞典与北京分别拥有 数台光刻机;瑞典产线2017-2019年产能利用率一直保持在80%以上的高水平 5、万业企业(600641):全资子公司凯世通采取“领先一步”的策略、采用有国际竞争力的设 计理念,着力研制16纳米及以下制程的FinFET集成电路离子注入机,并针对研制低能大束流离子 注入机所需要解决的关键技术和技术难点,建立起相应的研发平台、相关核心关键技术及工艺的 研究参数数据库和性能检测规范标准。2019年凯世通的低能大束流离子注入机迁机成功,顺利进 入离子注入晶圆验证阶段。参股公司上海半导体装备材料基金持有华卓精科2.08%股权。 6、上海新阳(300236):公司在互动易平台表示,中芯国际是公司的主要客户之一。2020年2 月,公司在互动易平台披露,公司KRF光刻机能支持96层3D NAND用光刻胶研究,及250nm、 130nm工艺制程逻辑电路用光刻胶研究。公司正在加快开发第三大核心技术——光刻技术,在集 成电路制造用ArF干法、KrF厚膜胶、I线等高端光刻胶领域已有重大突破。同时,积极布局半导体 硅片、半导体湿法工艺设备、平板液晶显示用光刻胶等业务领域。 7、南大光电(300346):超募资金投资”ArF光刻胶产品的开发与产业化”项目。 8、飞凯材料(300398):公司从事PCB光刻胶专用化学品。 9、胜利精密(002426):胜利精密计划募资不超过20亿元,投向光刻机产业化。 10、华特气体(688268):华特气体是特种气体龙头企业。 11、福晶科技(002222):公司是全球*的LBO、BBO晶体供应商,也是全球重要的Nd: YVO4晶体供应商,控股子公司青岛海泰光电技术有限公司是国内*的KTP晶体生产商。公司产 品已被全球各大激光器公司广泛采用,公司与客户建立了良好的合作关系,在客户中享有良好的 声誉,并树立了良好的品牌形象。公司品牌“CASTECH”已在全球激光界树立了高技术、高品 质、优服务的市场形象,核心产品被国际业界誉为“中国牌晶体”。 12、智光电气(002169):粤芯采购的是荷兰ASML阿斯麦公司的光刻机。智光电气间接持有粤 芯半导体股权。 13、容大感光(300576):公司为拓展业务范围及产品应用领域,投资设立控股子公司上海芯刻微 材料技术有限责任公司进行193nm干法光刻胶研发及产业化项目。 14、强力新材(300429):公司从事PCB刻胶专用化学品。 15、晶瑞股份(300655):该公司光刻胶产品已经通过中芯国际上线测试并取得订单。 16、光华科技(002741):针对面板行业对光阻材料的巨大需求,公司引入韩国光阻材料供应商 SMS、KISCO、DKC,国内部分客户已进入材料打样测试认证阶段,下一步公司将配合客户逐步 实现量产。 17、蓝英装备(300293)公司在互动平台称:公司瑞士子公司UCM*主要为光学和精密仪器行 业提供清洗设备。对于精密光学、医学工程、精密机械以及PVD、CVD涂层前清洗等典型的清洁 度要求*的应用领域,公司在精密清洗业务板块的代表产品UCM系统可提供全套个性化的设备 及解决方案。凭借行业领先的技术实力,UCM*为ASML(荷兰光刻机制造商阿斯麦公司)及其 供应商提供极紫外光刻机(EUV)的光学系统相关关键部件的清洗设备。 18、江化微(603078):公司孙公司无锡澄泓生产的产品主要是光刻胶剥离液,目前主要用在液 晶面板领域。 19、高盟新材(300200):公司主营业务为超净高纯试剂、光刻胶配套试剂等湿电子化学品的研 发、生产和销售。 20、奥普光电(002338):公司从事的主要业务为光电测控仪器设备、光学材料和光栅编码器等 产品的研发、生产与销售。2020年5月31日互动平台讯,公司大股东长春光机所正在研发更高水 平的光刻机曝光系统。 21、西陇科学(002584):公司是一家专业从事微电子化学品的产品研发、生产和销售的高新技 术企业,主导产品包括超净高纯试剂、光刻胶、功能性材料、锂电池材料和基础化工材料等。 相关推荐 22、同益股份(300538):2019年3月13日公司互动平台披露博砚电子为宝通辰韬投资,该公司 是一家研发、生产光阻的厂家,主要产品为彩色滤光片用光阻黑色矩阵光阻、感光间隙材料,产品广 泛适用于液晶显示屏、印刷电路和集成电路以及印刷制版等。 23、广信材料(300537):2018年公司主营业务产品仍以光刻胶专用化学品为主,分为光刻胶用 光引发剂和光刻胶树脂两大系列。
光刻机*上市公司是张江高科公司,光刻机(Mask Aligner)又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等,是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术,把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。
光刻机的品牌众多,根据采用不同技术路线的可以归纳成如下几类:
1、高端的投影式光刻机可分为步进投影和扫描投影光刻机两种,分辨率通常七纳米至几微米之间,高端光刻机号称世界上最精密的仪器,世界上已有1.2亿美金一台的光刻机。高端光刻机堪称现代光学工业之花,其制造难度之大,全世界只有少数几家公司能够制造。国外品牌主要以荷兰ASML(镜头来自德国),日本Nikon(intel曾经购买过Nikon的高端光刻机)和日本Canon三大品牌为主。
2、位于我国上海的SMEE已研制出具有自主知识产权的投影式中端光刻机,形成产品系列初步实现海内外销售。正在进行其他各系列产品的研发制作工作。
3、生产线和研发用的低端光刻机为接近、接触式光刻机,分辨率通常在数微米以上。主要有德国SUSS、美国MYCRO NXQ4006、以及中国品牌。
拓展资料:
光刻机的主要性能指标有:支持基片的尺寸范围,分辨率、对准精度、曝光方式、光源波长、光强均匀性、生产效率等。
1、分辨率是对光刻工艺加工可以达到的最细线条精度的一种描述方式。光刻的分辨率受受光源衍射的限制,所以与光源、光刻系统、光刻胶和工艺等各方面的限制。
2、对准精度是在多层曝光时层间图案的定位精度。
3、曝光方式分为接触接近式、投影式和直写式。
4、曝光光源波长分为紫外、深紫外和极紫外区域,光源有汞灯,准分子激光器等。